使用冷冻复型技术的几点体会

王新明

摘要 : 冷冻复型法,国内巳被广泛应用,但是在制样过程中,由于不慎和缺乏经验,以及条件欠佳,每一步都可使样品出现缺陷和假象,甚至完全失败。作者从1981年到1982年,使用日立公司生产的 Hus-5 GB 镀膜仪、HFZ-1断裂装置、FE-1冰冻蚀刻仪等组合装置。共制作冷冻复型样品50余次。每一次样品都出现不同程度的缺陷和假象,完全成功次数较少。